日期:2022/05/05

國立中山大學物理系講座教授張鼎張獨創「超臨界流體低溫缺陷鈍化技術」,師生團隊成立奈盾科技(Naidun-tech)公司,有望助攻半導體新技術突破良率瓶頸,不僅獲得科技部價創計畫補助,更吸引日本第一大半導體設備商東京威力(TEL)與台灣友達(AUO)青睞,成為東京威力唯一在台灣投資的新創公司。

什麼是超臨界流體?張鼎張指出,超臨界流體是一種物質狀態,一般固體吸熱變液體,液體加熱變氣體,氣體再加壓超過臨界溫度及臨界壓力,物質將兼具液體與氣體的特性,就是超臨界流體。超臨界流體有較好的滲透性和較強的溶解力,廣泛應用於萃取技術,將其作為萃取劑,將原料中某些成分析出,常見包括萃取咖啡因,製造保養品、營養補充品與清潔劑等。

「但我們團隊則反其道而行,利用超臨界流體導入新物質。」張鼎張強調,在半導體尺寸微縮的趨勢下,長完膜、蝕刻後,會可能有很多缺陷,舊有技術無法提供好的解決方案,超臨界流體既像氣體又像液體,具高反應性、高滲透性、低表面張力等三大優勢,運用在電子元件上可有效消除缺陷,讓元件性能與可靠度大幅提升。

「至於成立公司,那是個意外!」張鼎張表示,原本「只是源自於科學探索的樂趣」,因為超臨界狀態的物理現象很特殊,充滿許多未知值得研究,我們在這個領域持續投入了15年的時間,在科學探索的過程中也挖掘出工程應用的潛力,目前測試很多公司提供的樣本都有效果,才看見技術產業化的曙光。「這是一個很好的契機,代表我們研究方向獲得認同。」

 
中山大學物獨創「超臨界流體技術」不僅獲得科技部價創計畫補助,更吸引日本第一大半導體設備商東京威力(TEL)與台灣友達(AUO)青睞。圖/中山大學提供

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